涵盖氧化铝、碳化硅、氮化铝等多种材料的精密陶瓷零部件，适用于AMAT、LAM、NAURA等全球主流半导体设备
氧化铝陶瓷盘
型号 0200-01006
陶瓷环
型号 0200-01009
晶圆载盘
覆盖环
| 参数 | 99.5% Al₂O₃ | 96% Al₂O₃ |
|---|---|---|
| 纯度 | ≥99.5% | ≥96% |
| 密度 | 3.89 g/cm³ | 3.72 g/cm³ |
| 硬度 (HV) | 1800 | 1500 |
| 抗弯强度 | 380 MPa | 350 MPa |
| 热导率 | 35 W/m·K | 24 W/m·K |
| 介电强度 | 16 kV/mm | 14 kV/mm |
| 最高使用温度 | 1700°C | 1600°C |
| 加工精度 | ±0.01 mm | ±0.01 mm |
| 表面粗糙度 | Ra 0.1 μm | Ra 0.2 μm |
碳化硅圆盘
碳化硅盖板
碳化硅块
网格纹理加工
| 参数 | SiC (SSiC) | SiC (RBSiC) |
|---|---|---|
| 纯度 | ≥98% | ≥90% |
| 密度 | 3.10 g/cm³ | 3.05 g/cm³ |
| 硬度 (HV) | 2600 | 2400 |
| 抗弯强度 | 400 MPa | 380 MPa |
| 热导率 | 120 W/m·K | 110 W/m·K |
| 最高使用温度 | 1600°C | 1400°C |
| 耐腐蚀性 | 优异 | 优良 |
| 加工精度 | ±0.01 mm | ±0.02 mm |
型号 0200-36630
加热器载盘
卡盘板
| 参数 | AlN |
|---|---|
| 纯度 | ≥99% |
| 密度 | 3.26 g/cm³ |
| 硬度 (HV) | 1200 |
| 抗弯强度 | 350 MPa |
| 热导率 | 170–230 W/m·K |
| 介电常数 | 8.8 (1 MHz) |
| 体电阻率 | >10¹⁴ Ω·cm |
| 热膨胀系数 | 4.5×10⁻⁶ /°C |
| 最高使用温度 | 1000°C (in air) |
| 加工精度 | ±0.01 mm |
以下为部分适用于主流设备的关键零部件型号
| No. | Part No. | Description |
|---|---|---|
| 1 | 0200-01009 | Nozzle 4-holes 60 Deg Baffle Ultima 200mm |
| 2 | 0200-18081 | CHAMBER-Cover Ceramic |
| 3 | 0200-18109 | CHAMBER-Collar |
| 4 | 0200-18093 | HDP Side Nozzle |
| 5 | 0200-36630 | Cover Plate Heater, DXZ |
| 6 | 0200-40126 | Thin Blade, Robot |
| 7 | 0010-24500 | 200MM TITAN PROFILER MIRRA CMP |
| 8 | 0200-02398 | PIN, LIFT HEATER CERAMIC |
| 9 | 0200-35081 | RING PREHEAT GRAPHITE BET |
| 10 | 0200-06870 | RING DEPOSITION PVD 300MM |
| 11 | 0200-01006 | Ceramic Dome Standard |
| 12 | 0021-95245 | Cover Ring |
| 13 | 0021-64644 | SHIELD 1 PIECE CLEANCOAT 300ALN PVD |
| 14 | 0200-36631 | Dimpled Cover Plate, AlN |
| 15 | 0200-20217 | PIMP Coil Feedthru Fixed |
| No. | Part No. | Description |
|---|---|---|
| 1 | 10140-000409E | Cover Ring |
| 2 | 10140-000293A | 机械手垫块北微ALN |
| 3 | 10140-000960B | Q-AL-TE |
| 4 | 10140-000260D | 石英隔热环 |
| 5 | 10150-002788C | 机械手指PEAP |
| 6 | 10150-001020A | 陶瓷压环20T |
| 7 | 10150-001710A | PECVD550 聚焦环 |
| 8 | 10150-001102A | 陶瓷聚焦环 |
| No. | Part No. | Description | Vendor |
|---|---|---|---|
| 1 | 707095 | DSI-V Endpoint Chamber | SPTS |
| 2 | 15-282056-00 | FTG SH RF ISOLTR | LAM |
| 3 | 716-162898-005 | ELECTRODE INNER Si 300MM | LAM |
| 4 | 0200-00299 | INSULATOR COIL SUPPORT | AMAT |
| 5 | 713-027299-002 | SPACER | LAM |
| 6 | 713-173271-001 | NC Chuck Pin | LAM |
