for Semiconductor Manufacturing
精于微米, 成于陶瓷。
依托中国科学院上海硅酸盐研究所与宁波材料所,我们为全球半导体设备产业链研制氧化铝、碳化硅、氮化铝等超硬材料精密零部件。
自二〇〇九年起,我们只专注一件事——
将先进陶瓷材料科学,转化为在等离子腔体中
以微米为单位服役的半导体核心零部件。
研发团队由博士 3 名、硕士 5 名与资深技术人员 15 名构成,可按用户图纸提供精密加工、喷涂与 CVD 定制服务。
从材料配方到最终计量,每一只零部件都在同一套质量体系内完成闭环——这是交付稳定性的根本。
九种超硬陶瓷,
从粉体到成品。
覆盖半导体制造所需的主要陶瓷材料体系,配方、烧结与精加工全流程自主可控。
三地协同的
制造体系。
从萍乡的成型烧结,到宁波的洁净精加工,再到覆盖全程的计量检测——一条完整的半导体零部件制造链。
萍乡 · 成型与烧结
配备烧结炉、脱泡机等十余台生产设备,承担陶瓷配方、成型与高温烧结。
宁波 · 洁净精加工
含 4,000㎡ 无尘车间与 80㎡ 百级洁净车间,满足半导体级洁净度要求。
加工与计量中心
加工中心、内外圆磨床、平面磨床、三坐标测量机、粗糙度仪等精密设备五十余台。
适配二十四家主流设备平台
OEM Index精度,是我们的母语。
超高平面度
Φ590mm 工件平面度小于 0.5 微米,满足 DMP、CMP 等高精度制程要求。
光学级抛光
离子束抛光在 Φ600mm 口径上实现 PV 小于 0.1 微米的光学精度。
陶瓷微孔加工
微孔加工精度可达 0.1mm × 1.2mm,满足喷淋头等部件的密集孔阵需求。
在腔体中服役的
精密零部件。
氧化铝陶瓷制品
P-01 / Al₂O₃Ceramic Dome · Cover Ring · 腔体绝缘件
碳化硅陶瓷制品
P-02 / SiCSiC Ring · SiC Cover · 高温载具
氮化铝陶瓷制品
P-03 / AlNCover Plate · Heater · 静电卡盘部件
加热器 / 载盘
P-04 / HEATERCover Plate Heater · Deposition Ring
精密加工件
P-05 / MACHINEDShower Head · Nozzle · Lift Pin · Robot Blade
晶圆载具 / 治具
P-06 / CARRIERRTA Graphite 盘 · 光罩治具 · 定制治具
按件号,直接找到我们。
输入原厂件号或部件名称,即可查到对应的同等替换件。我们为 AMAT、NAURA 北方华创、LAM、SPTS 等主流半导体设备平台,提供氧化铝、氮化铝、碳化硅、石英等材料体系的 OEM 同等陶瓷零部件。
每件均按与原厂同材料、同等级制造,并随批附材料合格证(COC)。文中所有原厂品牌与件号均为各自所有者的商标,仅用于型号识别;上海百兰朵生产 OEM 兼容替换件,与原始设备制造商无隶属、授权或背书关系。
被全球产线
验证过的信任。
Oxford Instruments
MOCVD 及等离子刻蚀设备用高纯氧化铝、氮化铝部件
半导体设备比亚迪半导体
定制碳化硅、氧化铝零部件,应用于 SiC 功率器件产线
功率半导体EpiStar 晶元光电
长期供应 MOCVD 设备用陶瓷载盘、喷淋头等关键零部件
LED三安集成
晶圆制造设备用陶瓷环、陶瓷盘等精密零件
LED / IC士兰微
功率器件产线用高精度氧化铝陶瓷结构件
功率半导体AMTC
光掩模制造设备用精密陶瓷零部件
光掩模MGM Technology
半导体封装及测试设备用定制陶瓷零部件
封装测试Saphilux
蓝宝石晶体生长设备用耐高温陶瓷部件
蓝宝石乾照光电
LED 外延及芯片制造设备的关键陶瓷零部件
LED常见问题。
你们是原厂吗?和 AMAT / NAURA / LAM / SPTS 是什么关系?
上海百兰朵是独立的半导体陶瓷零部件制造商,生产与原厂同材料、同等级的 OEM 兼容替换件。文中所有品牌与件号均为各自所有者的商标,仅用于型号识别;我们与原始设备制造商无隶属、授权或背书关系。
提供材料合格证(COC)吗?
提供。每一批次都随附材料合格证(COC),证明材料与等级符合要求。
能按原厂件号或图纸定制吗?
可以。提供原厂件号即可对照到同等替换件;也支持按图纸或来样全定制开发,精密加工公差可达 ±0.01mm。
你们做哪些材料?
氧化铝(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)、氮化铝(AlN)、氮化硅(Si₃N₄)、石英等超硬陶瓷材料,配方、烧结到精加工全流程自主可控。
适配哪些设备平台?
AMAT、NAURA 北方华创、LAM、SPTS 等;适配 24 家主流半导体设备平台,服务薄膜沉积、刻蚀、离子注入等核心制程。
怎么询价?交期和起订量是多少?
发件号或图纸到 sales@bilateral.top,或在官网“询盘”留言,工程团队 24 小时内对接。支持打样与批量,具体交期与起订量按件号和数量确定。
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无论是标准件询价,还是从图纸开始的全定制开发——告诉我们材料、尺寸与精度要求,工程团队将直接与您对接。
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我们的工程团队将在 24 小时内与您联系。如有紧急需求,请直接致电 +86 153 1655 5536。
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