百兰朵
Bilateral Electronics · Est. 2009
00序 PROLOGUE
上海百兰朵电子科技有限公司成立于二〇〇九年
百兰朵
Precision Ceramic Components
for Semiconductor Manufacturing

精于微米, 成于陶瓷

依托中国科学院上海硅酸盐研究所与宁波材料所,我们为全球半导体设备产业链研制氧化铝、碳化硅、氮化铝等超硬材料精密零部件。

31.05°N  121.18°E
SHANGHAI · NINGBO · PINGXIANG
ISO 9001 CERTIFIED
01Company公司

自二〇〇九年起,我们只专注一件事——
将先进陶瓷材料科学,转化为在等离子腔体中
以微米为单位服役的半导体核心零部件。

0YRS
Industry Focus
行业深耕
0
Production Area
生产基地
0+
Machines
加工检测设备
0OEM
Tool Platforms
适配设备品牌
宁波生产基地
宁波前湾生产基地FIG. 01

研发团队由博士 3 名、硕士 5 名与资深技术人员 15 名构成,可按用户图纸提供精密加工、喷涂与 CVD 定制服务。

从材料配方到最终计量,每一只零部件都在同一套质量体系内完成闭环——这是交付稳定性的根本。

ISO 9001 质量管理体系Certified
实用新型授权专利多项
中国集成电路零部件创新联盟Member
ISO9001 专利证书 专利证书
02Materials Index材料

九种超硬陶瓷,
从粉体到成品

覆盖半导体制造所需的主要陶瓷材料体系,配方、烧结与精加工全流程自主可控。

M-01Al₂O₃氧化铝耐高温、耐等离子刻蚀 — 腔体部件首选
M-02SiC碳化硅高导热、高刚性 — 高温载具与环类部件
M-03AlN氮化铝导热且绝缘 — 加热器与静电卡盘核心
M-04Si₃N₄氮化硅高强韧、耐热震 — 结构陶瓷之选
M-05B₄C碳化硼超高硬度 — 耐磨件与离子注入应用
M-06BN氮化硼易加工、耐高温 — 优良脱模与绝缘性能
M-07SiO₂氧化硅低膨胀、高透光 — 光学与扩散工艺
M-08Mg₂Al₄Si₅O₁₈堇青石近零热膨胀 — 精密光学治具理想材料
M-09ZrO₂氧化锆高韧性、高强度、抗热震 — 结构与耐磨部件
03Manufacturing制造

三地协同的
制造体系

从萍乡的成型烧结,到宁波的洁净精加工,再到覆盖全程的计量检测——一条完整的半导体零部件制造链。

萍乡 · 成型与烧结

4,500

配备烧结炉、脱泡机等十余台生产设备,承担陶瓷配方、成型与高温烧结。

宁波 · 洁净精加工

6,000

含 4,000㎡ 无尘车间与 80㎡ 百级洁净车间,满足半导体级洁净度要求。

加工与计量中心

50+ UNITS

加工中心、内外圆磨床、平面磨床、三坐标测量机、粗糙度仪等精密设备五十余台。

适配二十四家主流设备平台

OEM Index
04Precision精度

精度,是我们的母语

<0.5μm FLATNESS

超高平面度

Φ590mm 工件平面度小于 0.5 微米,满足 DMP、CMP 等高精度制程要求。

<0.1μm PV OPTICAL

光学级抛光

离子束抛光在 Φ600mm 口径上实现 PV 小于 0.1 微米的光学精度。

0.1mm MICRO-HOLE

陶瓷微孔加工

微孔加工精度可达 0.1mm × 1.2mm,满足喷淋头等部件的密集孔阵需求。

平面度检测报告
KURODA 平面度报告FIG. 02
光学面形检测
光学面形干涉检测FIG. 03
三坐标测量
三坐标精密测量FIG. 04
05Selected Parts产品

在腔体中服役的
精密零部件

服务八大核心制程 薄膜沉积/刻蚀/RTP/涂胶显影/离子注入/氧化扩散/研磨抛光/划裂
氧化铝陶瓷制品

氧化铝陶瓷制品

P-01 / Al₂O₃

Ceramic Dome · Cover Ring · 腔体绝缘件

碳化硅陶瓷制品

碳化硅陶瓷制品

P-02 / SiC

SiC Ring · SiC Cover · 高温载具

氮化铝陶瓷制品

氮化铝陶瓷制品

P-03 / AlN

Cover Plate · Heater · 静电卡盘部件

加热器载盘

加热器 / 载盘

P-04 / HEATER

Cover Plate Heater · Deposition Ring

精密加工件

精密加工件

P-05 / MACHINED

Shower Head · Nozzle · Lift Pin · Robot Blade

晶圆载具

晶圆载具 / 治具

P-06 / CARRIER

RTA Graphite 盘 · 光罩治具 · 定制治具

06Cross-Reference件号

按件号,直接找到我们

输入原厂件号或部件名称,即可查到对应的同等替换件。我们为 AMAT、NAURA 北方华创、LAM、SPTS 等主流半导体设备平台,提供氧化铝、氮化铝、碳化硅、石英等材料体系的 OEM 同等陶瓷零部件。

39 个可对照件号
AMAT0200-01009Nozzle, 4-Hole 60° Baffle, UltimaHDP-CVD询价 ↗
AMAT0200-18081Chamber Cover, CeramicCVD询价 ↗
AMAT0200-18109Chamber CollarCVD询价 ↗
AMAT0200-18093HDP Side NozzleHDP-CVD询价 ↗
AMAT0200-36630Cover Plate Heater, DXZCVD询价 ↗
AMAT0200-40126Thin Blade, RobotTransfer / Robot询价 ↗
AMAT0010-24500Titan Profiler, Mirra CMP, 200mmCMP询价 ↗
AMAT0200-02398Lift Pin, HeaterHeater / CVD询价 ↗
AMAT0200-35081Preheat Ring, BETPVD (Endura)询价 ↗
AMAT0200-06870Deposition Ring, CleanCoat, 300mmPVD询价 ↗
AMAT0200-01006Ceramic Dome, StandardHDP-CVD / Etch询价 ↗
AMAT0021-95245Cover RingPVD询价 ↗
AMAT0020-45231Shutter Disc, EncorePVD (Encore)询价 ↗
AMAT0021-64644Shield, 1-Piece CleanCoat, 300mmPVD询价 ↗
AMAT0200-36631Dimpled Cover PlateCVD询价 ↗
AMAT0200-20217Coil Feedthru, Fixed (PIMP)PVD / IMP询价 ↗
AMAT0200-00299Insulator, Coil Support, Rigid, VectraIon Implant询价 ↗
AMAT0200-20175Labyrinth, Rigid Coil Support, VectorIon Implant询价 ↗
AMAT0021-32043Seal, Tray, DSS询价 ↗
NAURA 北方华创10140-000409ECover RingEtch / CVD询价 ↗
NAURA 北方华创10140-000293ARobot Arm PadTransfer询价 ↗
NAURA 北方华创10140-000960BQ-AL-TE询价 ↗
NAURA 北方华创10140-000260DInsulation Ring (AlN PM)询价 ↗
NAURA 北方华创10140-000608ACover Ring询价 ↗
NAURA 北方华创10150-002788CRobot Finger, PEAPTransfer询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001426AIsolation Part, SH-PEA询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001401AFork-Plate ConnectorTransfer询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001020AClamp Ring, 20T询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001710AFocus Ring, PECVD550PECVD询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001104ACounterweight Guard Ring, 370G+询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001105CClamp Ring询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001101Insulation Ring询价 ↗
NAURA 北方华创10150-001102AFocus RingEtch询价 ↗
NAURA 北方华创10130-003580ACounterweight Isolation Plate询价 ↗
LAM15-282056-00Showerhead RF IsolatorEtch / CVD询价 ↗
LAM716-162898-005Inner Electrode, 300mmEtch询价 ↗
LAM713-027299-002Spacer询价 ↗
LAM713-173271-001NC Chuck PinESC / Chuck询价 ↗
SPTS707095DSI-V Endpoint ChamberEtch (SPTS)询价 ↗
07Clients客户

被全球产线
验证过的信任

Oxford Instruments

MOCVD 及等离子刻蚀设备用高纯氧化铝、氮化铝部件

半导体设备

比亚迪半导体

定制碳化硅、氧化铝零部件,应用于 SiC 功率器件产线

功率半导体

EpiStar 晶元光电

长期供应 MOCVD 设备用陶瓷载盘、喷淋头等关键零部件

LED

三安集成

晶圆制造设备用陶瓷环、陶瓷盘等精密零件

LED / IC

士兰微

功率器件产线用高精度氧化铝陶瓷结构件

功率半导体

AMTC

光掩模制造设备用精密陶瓷零部件

光掩模

MGM Technology

半导体封装及测试设备用定制陶瓷零部件

封装测试

Saphilux

蓝宝石晶体生长设备用耐高温陶瓷部件

蓝宝石

乾照光电

LED 外延及芯片制造设备的关键陶瓷零部件

LED
08FAQ常见问题

常见问题

你们是原厂吗?和 AMAT / NAURA / LAM / SPTS 是什么关系?

上海百兰朵是独立的半导体陶瓷零部件制造商,生产与原厂同材料、同等级的 OEM 兼容替换件。文中所有品牌与件号均为各自所有者的商标,仅用于型号识别;我们与原始设备制造商无隶属、授权或背书关系。

提供材料合格证(COC)吗?

提供。每一批次都随附材料合格证(COC),证明材料与等级符合要求。

能按原厂件号或图纸定制吗?

可以。提供原厂件号即可对照到同等替换件;也支持按图纸或来样全定制开发,精密加工公差可达 ±0.01mm。

你们做哪些材料?

氧化铝(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)、氮化铝(AlN)、氮化硅(Si₃N₄)、石英等超硬陶瓷材料,配方、烧结到精加工全流程自主可控。

适配哪些设备平台?

AMAT、NAURA 北方华创、LAM、SPTS 等;适配 24 家主流半导体设备平台,服务薄膜沉积、刻蚀、离子注入等核心制程。

怎么询价?交期和起订量是多少?

发件号或图纸到 sales@bilateral.top,或在官网“询盘”留言,工程团队 24 小时内对接。支持打样与批量,具体交期与起订量按件号和数量确定。

09Contact联系

与我们
开始对话

无论是标准件询价,还是从图纸开始的全定制开发——告诉我们材料、尺寸与精度要求,工程团队将直接与您对接。

Phone / WeChat+86 153 1655 5536
Address浙江宁波前湾玉海东路 136 号 20 栋
工程团队在线 — 24 小时内回复

询盘将同时送达销售与负责人邮箱 · 严格保密

已收到

我们的工程团队将在 24 小时内与您联系。如有紧急需求,请直接致电 +86 153 1655 5536。

INQUIRY LOGGED — REPLY WITHIN 24H